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Stocker

主要用于洁净室内半导体生产工序及工序之间晶圆盒的存储，根据无尘室可利用空间，灵活定制各类型Stocker，实现空间最大化。根据客户需求，可支持带净化功能。
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产品特点

· 环保经济：保证产品0污染，Class等级100

· 高可靠性：振动值低，稳定性高，安全可靠性高

· 高利用率：设备适用产品类型多样化

· 高效存取：效率≥120pcs/h

· 优化工作：7*24h不间断生产· 柔性适配：可定制化，更符合使用需求


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